Ученые Федеральной политехнической школы Лозанны (Швейцария) и Университета Пердью (США) объединили пьезоэлектрик на основе нитрида алюминия с генератором оптической гребенки (светового излучения с особыми частотными характеристиками) из нитрида кремния, создав новый вариант акустооптического модулятора (устройства, меняющего интенсивность пропускаемого света под действием акустической волны), который можно разместить в микрочипе. Звуковые волны в такой микросхеме генерируются пьезоэлектрическим актуатором, который и заставляет срабатывать кремниево-нитридный «гребень». При работе схема потребляет предельно мало электроэнергии, а изготавливать ее можно по той же технологии, по которой выпускаются КМОП-микросхемы. При этом, как отмечают разработчики, такой чип обладает очень высоким быстродействием.
Используя свою разработку, исследователи улучшили характеристики лазерного дальномера на основе оптической гребенки, и по их прогнозу, со временем можно будет всю электронную начинку такого устройства уместить в чипе, изготовленном по технологии КМОП. Кроме того, изобретение создаст стимул к применению микрооптических гребенок в средах, где необходима экономия энергии, — в центрах обработки данных, а также в космосе и других средах с экстремальными условиями.