| | Itanium (Merced) | Itanium 2 (McKinley) | Itanium 2 (Madison) |
| Тактовая частота | 733 МГц, 800 МГц | 900 МГц, 1 ГГц | 1 ГГц, 1,3 ГГц, 1,.4 ГГц, 1,5 ГГц |
| Разрядность системной шины, бит | 64 | 128 | 128 |
| Полоса пропускания системной шины, Гбайт/с | 2,1 | 6,4 | 6,4 |
| Целочисленные вычисления | Четыре блока | Шесть блоков | Шесть блоков |
| Кэш | L1, 32 Кбайт (16 Кбайт для команд и 16 Кбайт для данных), двухтактовая задержка | L1, 32 Кбайт (16 Кбайт для команд и 16 Кбайт для данных), двухтактовая задержка | L1, 32 Кбайт (16 Кбайт для команд и 16 Кбайт для данных), двухтактовая задержка |
L2, 96 Кбайт, 12-тактовая задержка | L2, 256 Кбайт, пятитактовая задержка | L2, 256 Кбайт, пятитактовая задержка |
L3, 4 Мбайт, внешний | L3, 1,5 Мбайт для 900 МГц,3 Мбайт для 1 ГГц | L3, 1,5 Мбайт для 1 ГГц,3 Мбайт для 1,3 ГГц, 4 Мбайт для 1,4 ГГц, 6 Мбайт для 1,5 ГГц |
| Полоса пропускания кэша, Гбайт/с | 11,7 | 32 | 48 |
| Физическая адресация, бит | 44 | 50 | 50 |
| Виртуальная адресация, бит | 50 | 64 | 64 |
| Максимальный размер страницы | 256 Мбайт | 4 Гбайт | 4 Гбайт |
| Адресуемая память | 16 Тбайт | 1 Пбайт | 1 Пбайт |