Современные технологии создания микропроцессоров или микроэлектромеханических устройств (MEMS) позволяют получить планарные структуры. В МТИ используют традиционные литографические инструменты для создания двухмерных шаблонов наноуровня, а затем формируют из них трехмерные объекты. Ученые уже продемонстрировали трехмерный микроконденсатор, созданный из специального наноматериала в одно сложение. Исследователи предложили несколько способов добиться того, чтобы материалы складывались по определенным линиям, в частности нанесение на поверхность наноматериала по линии сложения металла (обычно хрома), облучение наноматериала по линии сложения потоком ионов гелия, внедрение в наноматериал золотых нитей. Для выравнивания сложенных частей исследователи использовали либо магниты, либо полимеры, которые наносились в определенных точках. После сложения конструкция подвергалась воздействию электрического тока, в результате чего полимеры сплавлялись, за счет чего формировалась жесткая конструкция. Теперь исследователям предстоит работать над повышением точности операций, соответствующих размерам конструкций.