В Технологическом институте шт. Джорджия разработана новая методика нанолитографии, получившая название термохимической. Принцип ее действия состоит в использовании атомно-силового микроскопа с кремниевым наконечником. Исследователи нагревают его и проводят им над тонкой полимерной пленкой. Тепло вызывает в ее поверхности химическую реакцию, которая преобразует полимер из гидрофобного в гидрофильный, способный притягивать молекулы других веществ. Исследователи продемонстрировали возможность вычерчивания на пластинах из различных материалов канавок шириной от 12 нм. Пользуясь матрицей наконечников, можно одновременно выводить сразу множество линий независимо друг от друга. (На фото: логотип университета, вычерченный описанным способом).